功能薄膜分类
电学薄膜：导体薄膜、超导薄膜、介质薄膜、薄膜太  阳能电池

磁性薄膜：纳米尺度的铁磁金属颗粒如Fe、Co、Ni及  其合金等构成的磁性颗粒膜

光学薄膜：Low-E膜、减反膜、反射膜、光/电致变色

软磁铁氧体 红外屏蔽 节能玻璃 动力电池 热电材料 化合物半导体 电磁隐身
其它薄膜：微滤膜、超滤膜、纳滤膜和反渗透等

节能玻璃镀膜
热电材料通过真空沉积技术如PVD、CVD等物理化学方法在玻璃上制备的一层、多层纳米～微米级薄膜，甚至可以

控制到原子排列，具有声光电磁、生物特性等功能的薄膜。
不同薄膜制备和分析技术对于真空度要求不同

真空蒸发沉积需要高真空和超高真空范围（<10-3 Pa）; 

溅射沉积需要中、高真空（10-2 ~ 10-5 Pa）;

低压化学气相沉积需要中、低真空（10~ 100Pa）;

电子显微技术维持的分析环境需要高真空;

热电材料表面分析需要超高真空。
真空环境的获得
真空环境的获得需要使用各种各样的真空泵，它们是
真空系统的主要组成部分。按获得真空的方法分为两大类：
一、输运式真空泵
    1、 机械式气体输运泵（旋转式机械真空泵：10-1 Pa 、罗茨泵10-2 Pa以及涡轮分子泵10-8 Pa）

；
    2、 气流式气体输运泵（油扩散泵1-10-6 Pa）。
热电材料采用对气体进行压缩的方式将气体分子输送至真空系
统之外。
二、捕获式真空泵（低温吸附泵10-1-10-8 Pa 、溅射离子泵10-8 Pa ）
    依靠在真空系统内凝集或吸附气体分子的方式将气体
分子捕获，排除于真空系统之外。
    与输运式真空泵不同，某些捕获式真空泵在工作完毕
以后还可能将己捕获的气体分子释放回真空系统。

重庆中工新材料#